幸运时时彩平台

薄膜成为MEMS新的增长点

2019-12-31来源: EEWORLD关键字:薄膜  体硅  溅射

“基于体硅和薄膜技术的传感器,执行器和换能器的压电市场预计将在2024年达到485亿美元,2018年算起的话,年复合增长率为12.6%。”Yole Développement的Jérôme Mouly说。“尽管市场中大部分技术都是基于体硅的器件,但基于薄膜的压电器件正在推动市场增长。”

在薄膜器件市场中,主要是SAW和BAW的RF滤波器,Broadcom和Qorvo是RF滤波器领域的主要薄膜厂商,而未来5G随着频率越来越高,将极大地推动市场发展。

像亚马逊这样的消费电子公司,最近则是对压电微型扬声器和MEMS压电麦克风的发展感兴趣。

从压电打印头到精确运动的线性电动机,更多大驱动的压电设备可满足各行各业的应用。

专门针对薄膜技术,一些MEMS代工厂已在内部开发了诸多薄膜压电工艺。AlN需要压电层沉积方面的广泛知识,而PZT是一种用于集成在半导体晶圆厂中的奇异材料。在沉积方面,两种技术在竞争:Sol-Gel和PVD(溅射或脉冲激光沉积-PLD)。 Sol-Gel具有更好的固有薄膜性能,良好的均匀性和更高的击穿电压。但是,在考虑批量生产时,吞吐量成为主要考虑因素,这就是Sol-Gel表现出局限性的地方。

大多数MEMS IDM和代工厂已经选择好了相关工艺,Fujifilm Dimatix和Robert Bosch选择了PVD溅射,而Epson和Rohm Semiconductor将采用Sol-Gel技术。

“当我们开始压电MEMS的预开发阶段时,我们对应用需求进行了全面分析,并将其与已知的沉积技术进行了比较,例如Sol-Gel,PLD,溅射和其他技术。”博世公司Udo-MartinGómez博士表示:“最终,我们选择了溅射方案,溅射工具在半导体工厂中是众所周知的,溅射靶材和其他介质的供应链已经建立。即使在大批量生产的情况下,也可以方便控制工艺和材料的性能。”

关键字:薄膜  体硅  溅射 编辑:冀凯 引用地址:http://news.sonata9.com/MEMS/ic484257.html 本网站转载的所有的文章、图片、音频视频文件等资料的版权归版权所有人所有,本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如果本网所选内容的文章作者及编辑认为其作品不宜公开自由传播,或不应无偿使用,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。

上一篇:基于雷达技术的智能浴室
下一篇:幸运时时彩平台国巨集团欲并购胜丽,打造CIS全领域供应商

关注eeworld公众号 快捷获取更多信息
关注eeworld公众号
快捷获取更多信息
关注eeworld服务号 享受更多官方福利
关注eeworld服务号
享受更多官方福利

推荐阅读

Vishay推出的新款交流和脉冲薄膜电容器适用于电动汽车
日前,Vishay Intertechnology, Inc.宣布,推出新系列汽车级交流和脉冲金属化聚丙烯薄膜电容器---MKP385e,适用于混合动力和电动汽车。Vishay BCcomponents MKP385e系列器件最高工作温度达+125 °C(电压降额观测值),符合IEC 60384-17和AEC-Q200标准(D版),额定电压下60 °C、93 % RH温湿度及偏压(THB)测试长达56天。日前发布的径向灌封电容器确保恶劣环境条件下,高度稳定的脉冲强度和纹波电流性能,延长使用寿命。器件采用紧凑封装提高密度,适用于板载和感应充电系统、电池管理、无钥匙进入系统、缓冲电路、谐振转换器和电源。MKP385e系列从400
发表于 2019-11-26
Vishay推出的新款交流和脉冲薄膜电容器适用于电动汽车
Vishay推出新系列汽车级交流和脉冲金属化聚丙烯薄膜电容器
汽车级金属化聚丙烯薄膜器件工作温度高达+125 °C,适用于混合动力和电动汽车日前,Vishay Intertechnology, Inc.宣布,推出新系列汽车级交流和脉冲金属化聚丙烯薄膜电容器---MKP385e,适用于混合动力和电动汽车。Vishay BCcomponents MKP385e系列器件最高工作温度达+125 °C(电压降额观测值),符合IEC 60384-17和AEC-Q200标准(D版),额定电压下60 °C、93 % RH温湿度及偏压(THB)测试长达56天。 日前发布的径向灌封电容器确保恶劣环境条件下,高度稳定的脉冲强度和纹波电流性能,延长使用寿命。器件采用紧凑封装提高密度,适用于板载和感应充电
发表于 2019-11-25
Vishay推出新系列汽车级交流和脉冲金属化聚丙烯薄膜电容器
高电压化X小型化 尼吉康驱动用薄膜电容器的最新技术趋势
近年来在混合动力汽车以及电动汽车用途中要求满足以下两点:①为实现电机驱动系统的高输出以及高效率的高电压化②为实现汽车低耗能(或者低油耗)的小型化等条件。在其驱动系统的变频器上,需要平滑直流电压的平滑用电容器,为此常规采用大容量且价廉物美的铝电解电容器。不过,随着电容器用介质膜的技术创新和薄膜化的推动,如今要求重新评估具备高耐电压、低损耗、高纹波电流、长寿命等卓越的电气特性的薄膜电容器规格。今后伴随混合动力汽车以及电动汽车的普及和广泛使用,系统的低成本化・小型化不可或缺,因此也要求薄膜电容器进一步改进小型化、支持高纹波电流、高温化等性能,因此需要开发具备通过介质膜的薄膜化实现小型化、通过开发蒸镀技术实现高耐电压化、长寿命化、通过降低
发表于 2019-11-01
高电压化X小型化 尼吉康驱动用薄膜电容器的最新技术趋势
Schreiner ProTech开发薄膜加热器 可为ADAS传感器除冰
ADAS系统的传感器,如摄像头、雷达和激光雷达,必须能在各种天气条件下准确工作。尤其是在极低的温度下行驶时,必须迅速为传感器除冰,并确保传感器不结冰。据外媒报道,为了解决这一问题,位于德国慕尼黑的Schreiner ProTech公司开发了基于印刷电子的薄膜加热器。(图片来源:Schreiner ProTech)该功能薄膜轻巧、平整、具有柔韧性,因此空间需求较小,可安装在接近传感器的位置,或直接安装在传感器上,非常适合此种特定类型的应用。薄膜的灵活性和导电轨道的灵活设计,允许根据形状和尺寸定制薄膜加热器,并适应组件的几何形状和曲率。得益于先进的模切、激光和印刷技术,可实现具有严格公差的复杂轮廓。印刷加热结构表面平整,避免安装后暴露
发表于 2019-10-24
Schreiner ProTech开发薄膜加热器 可为ADAS传感器除冰
打破了日本垄断 韩国开发5G天线用薄膜材料
日本企业垄断的5G 28GHz带宽天线用的薄膜材料,韩国零件企业Jinyoung Global成功开发出该技术,目前与LG电子一同进行测试。据《韩联社》报道,Jinyoung Global与LG电子于2日表示,为商用化PCT(Poly-cyclohexylene dimethylene-terephthalate,聚对苯二甲酸环己烷二甲酯)工程塑料开发的5G高频天线传输线、覆盖材料,正在进行相关测试。现有的LTE智能手机中,主要使用雷射在热塑性树脂上设计回路,并使用以聚醯亚胺为基底的软性印刷电路板。在5G通信中,则以液晶高分子(LCP)制作软性印刷电路板为主,但该技术主要日本企业所垄断。LCP薄膜由日本东丽、可乐丽、村田制作所
发表于 2019-10-09
EDI CON China 2016新增射频绝缘体上硅专题分会和主旨报告
北京,16年3月18日——将于4月19-21日在北京国家会议中心举行的EDI CON China 2016(电子设计创新会议)的主办方宣布,GLOBALFOUNDRIES射频业务拓展和产品营销资深总监Peter Rabbeni将在新开设的射频绝缘体上硅(RF SOI)技术专题分会上做题为《RF SOI:革新今天的无线电设计并推动明天的创新》的开幕主旨报告。来自Peregrine Semiconductor、TowerJazz、Simgui、AnalogSmith和上海交通大学的专家也将在RF SOI分会上发表演讲或举办研习会。RF SOI分会的议题包括基材工程、设计的实现、CMOS功率放大器设计和高
发表于 2016-03-18
小广播
电子工程世界版权所有 京ICP证060456号 京ICP备10001474号 电信业务审批[2006]字第258号函 京公海网安备110108001534 Copyright © 2005-2020 sonata9.com, Inc. All rights reserved
北京pk10 幸运时时彩 山东群英会走势图 500彩票网 诚信网投开户 大资本平台 北京pk10 山东11选5 一分时时彩官网 欢乐生肖网上哪里买